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日本新宇宙XP-703D 泄漏檢測（半導(dǎo)體用）

簡要描述：一、特點：最適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測

  • 產(chǎn)品型號：日本新宇宙
  • 廠商性質(zhì)：
  • 更新時間：2025-06-24
  • 訪  問  量：2630
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一、特點：
最適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測。
通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏。

二、技術(shù)參數(shù):

型號

　XP-703D

檢測原理

　熱線型半導(dǎo)體式

檢測對象氣體

　半導(dǎo)體材料氣體（砷化三氫、磷化氫、乙硼烷、硅烷等）

能檢測的泄漏量



能檢測的濃度

　 砷化三氫

　
AsH3

　
1.0 ×10-7

　
0.2　　　　　　　　　　

　磷化氫

　
PH3

　
1.5 ×10-7

　
0.3

　乙硼烷

　
B2H6

　
0.5 ×10-7

　
0.1

　硅烷

　
SiH4

　
2.5 ×10-7

　
0.5

　氫氣

　
H2

　
5 ×10-7 Pa·m3 /s

　
1.0 ppm

應(yīng)答時間

　10秒

檢測表示

　蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且報警燈閃爍

電源

　5號錳干電池4節(jié)

電池使用時間※1

　使用堿性干電池使用約9小時（使用錳干電池約3小時）

使用溫度范圍

　0℃~40℃

外形尺寸

　W68×H155×D32mm

重量

　約400g（包括電池）

附件

　皮套、吸引過濾器、過濾片、檢查氣體、標(biāo)準(zhǔn)輔助橡膠管、5號錳干電池4本

另售的選購品

　Ni-Cd電池專用充電器、耳機

※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd電池。


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